Materials development for thin film actuators
Quandt, E.; Holleck, H.; Kirchner, S.; Kunisch, C.; Schlegelmilch, J.; Seemann, K.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170036320 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 299-307 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994 |