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Wissensbasierte Entwurfsunterstützung zur Herstellung von LIGA-Mikrostrukturen

Scherer, K.P.; Eggert, H.; Buchberger, P.; Stiller, P.; Wieland, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170036489
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Seiten 156-63
Erscheinungsvermerk Cadlab, W.J.; Eggert, H. [Hrsg.] 1.Workshop Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf, Karlsruhe, 15.November 1994 Tagungsband
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