Wissensbasierte Entwurfsunterstützung zur Herstellung von LIGA-Mikrostrukturen

Scherer, K. P.; Eggert, H.; Buchberger, P.; Stiller, P.; Wieland, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1994
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170036489
HGF-Programm	41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	156-63
Erscheinungsvermerk	Cadlab, W.J.; Eggert, H. [Hrsg.] 1.Workshop Methoden- und Werkzeugentwicklung für den Mikrosystementwurf, Karlsruhe, 15.November 1994 Tagungsband