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Heat transfer properties and thermal performance of microstructures produced by the LIGA-process

Rohde, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170036569
HGF-Programm 41.02.04; LK 01
Seiten 1163-65
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 94, 4th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, October 19-21, 1994 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1994
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