Measurements of physical parameters with ultrasound and microdiaphragms
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170036976 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 139-44 |
| Erscheinungsvermerk | MEMS '95 - Micro Electro Mechanical Systems : an Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, Amsterdam, NL, January 29 - February 2, 1995 Proc. New York, N.Y. [u.a.] : IEEE 1995 |