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Measurements of physical parameters with ultrasound and microdiaphragms

Schomburg, W.K.; Vitt, M.; Bacher, W.; Börner, M.W.; Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170036976
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 139-44
Erscheinungsvermerk MEMS '95 - Micro Electro Mechanical Systems : an Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, Amsterdam, NL, January 29 - February 2, 1995 Proc. New York, N.Y. [u.a.] : IEEE 1995
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