Fully batch fabricated magnetic microactuators using a two layer LIGA process
Rogge, B.; Schulz, J.
; Mohr, J.; Thommes, A.; Menz, W.
; Mohr, J.; Thommes, A.; Menz, W.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170036989 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 320-23 |
| Erscheinungsvermerk | 8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Digest of Technical Papers, Vol.1 |