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Fully batch fabricated magnetic microactuators using a two layer LIGA process

Rogge, B.; Schulz, J.; Mohr, J.; Thommes, A.; Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170036989
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 320-23
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Digest of Technical Papers, Vol.1
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