Verification of the micromechanical characteristics of electrostatic linear actuators
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170036990 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Digest of Technical Papers, Vol.2 S.400-03 Sensors and Actuators A, 53(1996) S.416-22 |