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Microtesting system made by the LIGA process to measure the Young's modulus in cantilever microbeams

Ruther, P.; Bacher, W.; Feit, K.; Maas, D.; Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170037109
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Seiten 963-67
Erscheinungsvermerk Alberts, T.E. [Hrsg.] 1995 ASME Internat.Mechanical Engineering Congress and Exposition, San Francisco, Calif., November 12-17, 1995 Proc.of the ASME Dynamic Systems and Control Division Vol. 2 New York, N.Y. : ASME, 1995 (DSC ; 57-2)
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