Fabrication of microoptical components and systems by the LIGA-technique

Göttert, J.; Mohr, J.; Müller, A.; Müller, C.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170037211
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten	31-38
Erscheinungsvermerk	Procedes et Modeles pour la Micro-Optique Passive, Metz, F, 11-12 Avril, 1995 Texte de Communications