Manufacturing microlenses by plasmaless isotropic etching combined with plastic molding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170037361 |
| HGF-Programm | 52.01.13 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 55-56 |
| Erscheinungsvermerk | 8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Late News Contributions |