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Manufacturing microlenses by plasmaless isotropic etching combined with plastic molding

Köhler, U.; Guber, A.E.; Bier, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170037361
HGF-Programm 52.01.13 (Vor POF, LK 01)
Seiten 55-56
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Late News Contributions
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