Microvalves with bistable buckled polymer diaphragms

Goll, C.; Bacher, W.; Büstgens, B.; Maas, D.; Menz, W.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170037362
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Late News Contributions, S.59-60 Micro Mechanics Europe, Kopenhagen, DK, September 3-5, 1995 Journal of Micromechanics and Microengineering, 6(1996) S.77-79