Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Radiochemie (IRCH) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 170037575 |
HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 216-23 |
Erscheinungsvermerk | 2.Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 16.-17.Oktober, 1995 Tagungsbd. Technische Universität Chemnitz-Zwickau, 1995 |