Sputter deposition of TiNi and TiNiPd films displaying the two way shape memory effect

Quandt, E.; Halene, C.; Holleck, H.; Feit, K.; Kohl, M.; Schlossmacher, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170037600
HGF-Programm	41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten	202-05
Erscheinungsvermerk	8th Internat.Solid-State Sensors and Actuators Conf., Transducers '95 and Eurosensors IX, Stockholm, S, June 25-29, 1995 Digest of Technical Papers, Vol.2