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| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170037601 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 147-55 |
| Erscheinungsvermerk | Sabnis, A.G. [Hrsg.] Process, Equipment, and Materials Control in Integrated Circuit Manufacturing : Proc.of a Conf., Austin, Tex., October 25-26, 1995 Bellingham, Wash. : SPIE, 1995 (SPIE proceedings series ; 2637) |