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Spektroskopische Untersuchung ausgewählter Abgasströme in der Siliziumätztechnik

Guber, A.E.; Köhler, U.; Brandner, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 170037776
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 11. German SSA Conf., Future Perspectives of the Semiconductor Safety and the Environment Protection, München, 6.November 1995 Proc. München : Semiconductor Safety Association e.V.
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