Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170038214 |
HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 273-77 |
Erscheinungsvermerk | MEMS '95 - Micro Electro Mechanical Systems : an Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, Amsterdam, NL, January 29 - February 2, 1995 Proc. New York, N.Y. [u.a.] : IEEE 1995 |