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Reibungs- und Verschleißuntersuchungen an LIGA-Mikrostrukturen

Bieger, T.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 170038447
HGF-Programm 41.02.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten 151-55
Erscheinungsvermerk 2.Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 16.-17.Oktober, 1995 Tagungsbd. Technische Universität Chemnitz-Zwickau, 1995
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