Reibungs- und Verschleißuntersuchungen an LIGA-Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170038447 |
| HGF-Programm | 41.02.04 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 151-55 |
| Erscheinungsvermerk | 2.Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Chemnitz, 16.-17.Oktober, 1995 Tagungsbd. Technische Universität Chemnitz-Zwickau, 1995 |