Fluidic driven linear motor fabricated by the LIGA-process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170038826 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 609-14 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 96 : 5th Internat.Conf. on Micro- Electro-, Opto-, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17-19, 1996 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1996 |