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Fluidic driven linear motor fabricated by the LIGA-process

Gebhard, U.; Günther, R.; Just, E.; Ruther, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170038826
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 609-14
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 96 : 5th Internat.Conf. on Micro- Electro-, Opto-, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17-19, 1996 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1996
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