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Elektrostatische und elektromagnetische Mikroaktoren in LIGA-Technik

Schulz, J.; Rogge, B.; Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 170038828
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 89-104
Erscheinungsvermerk Innovative Kleinantriebe : Tagung, Mainz, 9.-10.Mai 1996 Düsseldorf : VDI-Verl., 1996 (VDI-Berichte ; 1269)
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