Elektrostatische und elektromagnetische Mikroaktoren in LIGA-Technik
Schulz, J.
; Rogge, B.; Mohr, J.
; Rogge, B.; Mohr, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170038828 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 89-104 |
| Erscheinungsvermerk | Innovative Kleinantriebe : Tagung, Mainz, 9.-10.Mai 1996 Düsseldorf : VDI-Verl., 1996 (VDI-Berichte ; 1269) |