Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170038830 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 499-504 |
Erscheinungsvermerk | Gobin, P.F. [Hrsg.] Proc.of the 3rd Internat.Conf.on Intelligent Materials, Lyon, F, June 3-5, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (SPIE Proceedings Series ; 2779) |