Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170038833 |
HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 462-66 |
Erscheinungsvermerk | Proc.of the 9th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '96) : An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, San Diego, Calif., February 11-15, 1996 New York, N.Y. : IEEE, 1996 |