Eine Informationsverarbeitungsumgebung zur Konstruktion und Vermessung von Mikrostrukturen
Eggert, H.; Düpmeier, C.; Guth, H.; Scherer, K. P.; Süss, W.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170038890 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 53-57 |
| Erscheinungsvermerk | Vortragsveranstaltung 'Informationstechnik für Mikrosysteme', Stuttgart-Büsnau, 17.Januar 1996 Tagungsband |