Eine Informationsverarbeitungsumgebung zur Konstruktion und Vermessung von Mikrostrukturen

Eggert, H.; Düpmeier, C.; Guth, H.; Scherer, K. P.; Süss, W.

Seitenaufrufe: 52
seit 04.12.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170038890
HGF-Programm	41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	53-57
Erscheinungsvermerk	Vortragsveranstaltung 'Informationstechnik für Mikrosysteme', Stuttgart-Büsnau, 17.Januar 1996 Tagungsband