Fabrication of microlenses by combining silicon technology, mechanical micromachining and plastic molding

Köhler, U.; Guber, A. E.; Bier, W.; Heckele, M.; Schaller, Th.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170038891
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Seiten	18-22
Erscheinungsvermerk	Miniaturized Systems with Micro-Optics and Micromechanics : Proc.of a Symp., San Jose, Calif., January 30-31, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (SPIE proceedings series ; 2687)