Potential of LIGA-technology for optoelectronic interconnects
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170038924 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 442-60 |
| Erscheinungsvermerk | Optoelectronic Interconnects and Packaging : Proc.of a Conf., San Jose, Calif., January 30-31, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (Critical Reviews of Optical Science and Technology ; CR62) |