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Potential of LIGA-technology for optoelectronic interconnects

Bacher, W.; Bley, P.; Moser, H.O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170038924
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 442-60
Erscheinungsvermerk Optoelectronic Interconnects and Packaging : Proc.of a Conf., San Jose, Calif., January 30-31, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (Critical Reviews of Optical Science and Technology ; CR62)
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