KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Magnetic microactuators fabricated by the LIGA-technique for large displacements or large forces

Rogge, B.; Schulz, J.; Mohr, J.; Thommes, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170038928
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Seiten 112
Erscheinungsvermerk Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 96 : 5th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 26-28, 1996 Conf. Proc. Bremen : AXON Technologie Consult GmbH, 1996
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page