Magnetic microactuators fabricated by the LIGA-technique for large displacements or large forces
Rogge, B.; Schulz, J.
; Mohr, J.; Thommes, A.
; Mohr, J.; Thommes, A.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170038928 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 112 |
| Erscheinungsvermerk | Borgmann, H. [Hrsg.] Actuator 96 : 5th Internat.Conf.on New Actuators, Bremen, June 26-28, 1996 Conf. Proc. Bremen : AXON Technologie Consult GmbH, 1996 |