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Modeling of millimeterwave materials processing

Feher, L.; Thumm, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170039318
HGF-Programm 52.01.42 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Ortenberg, M.von [Hrsg.] 21st Internat.Conf.on Infrared and Millimeter Waves, Berlin, July 14-19, 1996 Conf.Proc. AW 2 Berlin : Humboldt-Univ., 1996
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