A tool for fabrication related design of microstructures

Scherer, K. P.; Buchberger, P.; Eggert, H.; Stiller, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170039635
HGF-Programm	41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	313-18
Erscheinungsvermerk	Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 96 : 5th Internat.Conf. on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17-19, 1996 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1996