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A tool for fabrication related design of microstructures

Scherer, K.P.; Buchberger, P.; Eggert, H.; Stiller, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170039635
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Seiten 313-18
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 96 : 5th Internat.Conf. on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17-19, 1996 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1996
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