Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170039683 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 108-18 |
Erscheinungsvermerk | Microlithography and Metrology in Micromachining : Proc.of the Symp.on Micromachining and Microfabrication, Austin, Tex., October 14-15, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (SPIE Proceedings Series ; 2880) |