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Mechanical characterisation of shape memory micromaterials

Kohl, M.; Skrobanek, K.D.; Goh, C.M.; Allen, D.M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170039683
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Seiten 108-18
Erscheinungsvermerk Microlithography and Metrology in Micromachining : Proc.of the Symp.on Micromachining and Microfabrication, Austin, Tex., October 14-15, 1996 Bellingham, Wash. : SPIE, 1996 (SPIE Proceedings Series ; 2880)
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