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Magnetostrictive thin film microflow devices

Quandt, E.; Seemann, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170040454
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Seiten 451-56
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 96 : 5th Internat.Conf. on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17-19, 1996 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1996
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