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Microfabrication at the Elettra synchrotron radiation facility

de Bona, F.; Matteucci, M.; Mohr, J.; Pantenburg, F.J.; Zelenika, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170040649
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 487-94
Erscheinungsvermerk Kuljanic, E. [Hrsg.] Advanced Manufacturing Systems and Technology : Proc.of the 4th Internat.Conf., Udine, I, September 2-3, 1996 Wien [u.a.] : Springer, 1996 (CISM Courses and Lectures / International Centre for Mechanical Sciences ; No.372)
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