Microfabrication at the Elettra synchrotron radiation facility
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170040649 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 487-94 |
| Erscheinungsvermerk | Kuljanic, E. [Hrsg.] Advanced Manufacturing Systems and Technology : Proc.of the 4th Internat.Conf., Udine, I, September 2-3, 1996 Wien [u.a.] : Springer, 1996 (CISM Courses and Lectures / International Centre for Mechanical Sciences ; No.372) |