A modular fabrication concept for photonic devices using the LIGA process

Gengenbach, U.; Göttert, J.; Kohl, M.; Marth, M.; Mohr, J.; Müller, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170040651
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten	519
Erscheinungsvermerk	Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 96 : 5th Internat.Conf. on Micro- Electro-, Opto-, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17-19, 1996 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1996