KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

A modular fabrication concept for photonic devices using the LIGA process

Gengenbach, U.; Göttert, J.; Kohl, M.; Marth, M.; Mohr, J.; Müller, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170040651
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 519
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 96 : 5th Internat.Conf. on Micro- Electro-, Opto-, Mechanical Systems and Components, Potsdam, September 17-19, 1996 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1996
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page