Combination of a fluidic micro-oscillator and micro-actuator in LIGA-technique for medical application
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170040734 |
| HGF-Programm | 42.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 761-64 |
| Erscheinungsvermerk | Transducers '97 : 1997 Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Chicago, Ill., June 16-19, 1997 Digest of Technical Papers New York, N.Y. : IEEE, 1997 |