Micro-optical and opto-mechanical systems fabricated by the LIGA technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170040737 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 273-78 |
| Erscheinungsvermerk | Motamedi, M.E. [Hrsg.] Miniaturized Systems with Micro-Optics and Micromechanics, San Jose, Calif., February 10-12, 1997 Bellingham, Wash. : Internat.Soc.for Optical Engineering, 1997 (SPIE Proceedings Series ; 3008) |