LIGA-microtesting system with integrated strain gauges for force measurement
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170040740 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 541-45 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 10th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '97), Nagoya, J, January 26-30, 1997 New York, N.Y. : IEEE, 1997 |