Fabrication of PMMA based microlenses using the LIGA-process

Ossmann, C.; Göttert, J.; Ilie, M.; Mohr, J.; Ruther, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170040993
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	54-58
Erscheinungsvermerk	Microlens Arrays : Proc.of a Conf., Teddington, GB, May 15-16, 1997 European Optical Society, 1997 (EOS Topical Meetings Digest Series ; 13)