| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170041031 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 122-124 |
| Erscheinungsvermerk | High Aspect Ratio Microstructure Technology (HAMRST '97), Madison, Wis., June 20-21, 1997 Microsytem Technologies 4(1998) |