| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170041091 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 5-10 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the Internat.Conf.on Advanced Technology in Experimental Mechanics (ATEM '97), Wakayama, J, July 25-26, 1997 Tokyo : The Japan Society of Mechanical Engineers, 1997 |