Characterisation of microlenses fabricated by the improved LIGA-process

Gerlach, B.; Ilie, M.; Mohr, J.; Müller, A.; Ruther, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170041338
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	60-64
Erscheinungsvermerk	Microlens Arrays : Proc.of a Conf., Teddington, GB, May 15-16, 1997 European Optical Society, 1997 (EOS Topical Meetings Digest Series ; 13)