| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170041340 |
| HGF-Programm | 42.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 211-14 |
| Erscheinungsvermerk | MME '97 - Micromechanics Europe : 8th Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, Southampton, GB, August 31 - September 2, 1997 Technical Digest University of Southampton, 1997 |