Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170041888 |
HGF-Programm | 31.04.05 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 183-90 |
Erscheinungsvermerk | Ryan, P.M. [Hrsg.] Radio Frequency Power in Plasmas : Proc.of the 12th Topical Conf., Savannah, Ga., April 1-3, 1997 Woodbury, N.Y. : AIP, 1997 (AIP Conference Proceedings ; 403) |