Materials development of piezoelectric thin films for actuator devices. Comparative study of PZT and wurtzite type materials grown by magnetron sputtering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170042386 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 608-11 |
| Erscheinungsvermerk | Michel, B. [Hrsg.] Proc.of the Internat.Conf.and Exhibition Micro Materials : Micro Mat '97, Berlin, April 16-18, 1997 Dresden : dpp Goldenbogen, 1997 |