Superharte PVD-Schichten aus dem System B-C-N

Holleck, H.; Kimm, F.; Kratzsch, A.; Stüber, M.; Ulrich, S.; Chiang, C.; Meyer, O.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 170042510
HGF-Programm	52.02.05 (Vor POF, LK 01)
Seiten	376-77
Erscheinungsvermerk	Kneringer, G. [Hrsg.] Proc.of the 14th Internat.Plansee Seminar '97, Reutte, A, May 12-16, 1997 Vol. 4 Reutte : Metallwerk Plansee AG, 1997