MOEMS fabricated by the LIGA technique - an overview
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170042641 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 221-26 |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Conf.on Optical MEMS and their Applications, Nara, J, November 18-21, 1997 Technical Digest |