Miniaturized piezo electric optical attenuator realized using LIGA-technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170042928 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 133-36 |
| Erscheinungsvermerk | Opto '98 : 3.Internat.Kongress und Fachausstellung für optische Sensorik, Meßtechnik und Elektronik, Erfurt, 18.-20.Mai 1998 Proc. AMA Fachverband für Sensorik |