Strain gauge pressure and volume-flow transducers made by thermoplastic molding and membrane transfer

Martin, J.; Bacher, W.; Hagena, O. F.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170042937
HGF-Programm	41.06.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten	361-66
Erscheinungsvermerk	MEMS '98 : Proc.of the 11th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Heidelberg, January 25-29, 1998 New York, N.Y. : IEEE, 1998