Flexible integration of nonsilicon microstructures on microelectronic circuits
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170042938 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 263-67 |
| Erscheinungsvermerk | MEMS '98 : Proc.of the 11th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Heidelberg, January 25-29, 1998 New York, N.Y. : IEEE, 1998 |