| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170042945 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 284-89 |
| Erscheinungsvermerk | Process Miniaturization : 2nd Internat.Conf.on Microreaction Technology, New Orleans, La., March 8-12, 1998 Topical Conference Preprints |