Micro optical distance sensor fabricated by the LIGA process

Nakajima, H.; Ruther, P.; Mohr, J.; Nakashima, T.; Takashima, K.; Usami, T.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170043056
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	106-12
Erscheinungsvermerk	Microelectronic Structures and MEMS for Optical Processing IV, Santa Clara, Calif., September 21-22, 1998 Bellingham, Wash.: Soc.of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1998 (SPIE Proceedings Series ; 3513)