Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170043056 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 106-12 |
Erscheinungsvermerk | Microelectronic Structures and MEMS for Optical Processing IV, Santa Clara, Calif., September 21-22, 1998 Bellingham, Wash.: Soc.of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1998 (SPIE Proceedings Series ; 3513) |