Design optimization of microsystems
Eggert, H.; Guth, H.; Jakob, W.; Meinzer, S.; Sieber, I.
; Süss, W.
; Süss, W.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170043212 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 344-49 |
| Erscheinungsvermerk | Symp.on Micromachining and Microfabrication, Santa Clara, Calif., September 20-22, 1998 Technical Proc.of MSM98 : 1998 Internat.Conf.on Modeling and Simulation of Microsystems, Semiconductors, Sensors and Actuators, Santa Clara, Calif., April 6-8, 1998 Boston [u.a.] : Computational Publ., 1998 |