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Reactive accelerated cluster erosion for microstructuring

Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170043285
HGF-Programm 52.01.16 (Vor POF, LK 01)
Seiten 299-309
Erscheinungsvermerk Abe, Y. [Hrsg.] Similarities and Differences between Atomic Nuclei and Clusters : Proc.of an Internat.Conf., Tsukuba, J, July 1997 American Institute of Physics, 1998 (AIP Conference Proceedings ; 416)
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