Reactive accelerated cluster erosion for microstructuring
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170043285 |
| HGF-Programm | 52.01.16 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 299-309 |
| Erscheinungsvermerk | Abe, Y. [Hrsg.] Similarities and Differences between Atomic Nuclei and Clusters : Proc.of an Internat.Conf., Tsukuba, J, July 1997 American Institute of Physics, 1998 (AIP Conference Proceedings ; 416) |