Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170043491 |
HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 320-24 |
Erscheinungsvermerk | MSM 98 : 1998 Internat.Conf.on Modeling and Simulation of Microsystems, Semiconductors, Sensors and Actuators, Santa Clara, Calif., April 6-8, 1998 Boston [u.a.] : Computational Publ., 1998 |